主催: 日本表面科学会
豊田工大工
大同分析リサーチ
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マイクロ波プラズマ支援気相成長法（MPECVD）によりSi基板上にPd内包CNTを合成した．アルミナバッファー層を用いた触媒調整により、CNTの直径や密度を制御することに成功した。CNT評価法として、SEM,TEM,AFM,XPS,ラマン分光法を用い多角的に解析し，Pd Filled 成長モデルを提案する．得られた知見はプローブ顕微鏡探針等へのアプリケーションにおいて極めて重要な結果といえる．
日本表面真空学会学術講演会要旨集
表面科学学術講演会要旨集
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