Y字状フィルタードアーク蒸着装置を用いた多元素窒化物膜の成膜

抄録

ニー状およびY字状フィルタードアーク蒸着装置（knee-FAD，Y-FAD）を用いて，金属および金属窒化物薄膜を作成し，同装置の機能評価を行った。また，特にY-FADでは，多元窒化物膜（TiAlN，TiAlCrSiN）の成膜を行い，膜質の分析を行った。