中和銃と試料バイアス印加を用いたXPSにおける帯電補正方法

抄録

XPSを用いた化学結合状態分析では、ピーク半値幅が重要なパラメータである。しかし、絶縁物試料を測定すると帯電の影響により、ピーク半値幅が広がるため、中和銃などを用いて補正を行う。しかし、その際の中和条件が適切かどうかを判断するのは、かなりの経験を要するのが現状である。今回、中和銃を用いながら正の試料バイアスを印加することで、簡単に最狭のピーク半値幅が測定できる方法について報告する。