Si(111)表面上の長鎖アルキル基単分子膜とシリル化したシリカ粒子の間の表面力

抄録

Si(111)ウエハーを40%NH4F溶液でエッチングし、原子レベルで平坦な水素終端化表面を作成した。そのウエハーをアルデヒドに浸漬し、紫外線照射反応によりその表面にSAMを形成させた。形成したSAMに対し、FT-IR，エリプソメトリー，接触角測定を行い評価した。また、シランカップリング剤を用いてシリカ粒子を修飾し、修飾表面に対してAFMを用いたシリカコロイドプローブ法で表面力測定を行った。