主催: 社団法人 日本表面科学会
阪大院工
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フッ酸(HF)溶液中で白金(Pt)等の触媒金属とシリコンカーバイド(SiC)基板とを対向させ、両者を面内で回転することにより、平坦性に優れたSiC表面を実現できることを見出した。本発表では、このプロセスによる平坦表面の創成原理を考察すると共に、得られた4H-SiC(0001)表面のステップ/テラス構造、及び、テラス内の原子構造を走査型トンネル顕微鏡により調査した結果について報告する。
表面科学講演大会講演要旨集
日本表面真空学会学術講演会要旨集
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