3次元ナノテンプレートPLD法による面内ヘテロ界面を持つ金属酸化物ナノ超構造の創製

抄録

ナノエレクトロニクスを切り開く新奇酸化物ナノデバイスの創製に向け、高度に制御されたナノ構造体の形成とそのナノ物性の理解が不可欠となるが、一般的に酸化物は化学的安定性からくる物理硬度により加工が難しく、数十nm以下精度でナノ構造体を作製することは困難であった。我々は、成長位置と形状をナノインプリントで規定したテンプレート側面上に、酸化物を原子層制御でエピタキシャル成長させる「3次元ナノテンプレートPLD法」を構築し、従来のリソグラフィーの限界を超えた10nmからの極小サイズを持ち、精密に空間制御された酸化物ナノヘテロ構造体の形成を可能とした。