主催: 日本表面科学会
室蘭工業大学工学部
室蘭工業大学大学院
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ゾル・ゲル法を用いてSi(001)および石英基板上にCuAlO薄膜を成長した. ゾル溶液は,酢酸銅一水和物,硝酸アルミニウム九水和物,硝酸,および2-プロパノールを用いて50℃で作製した.スピンコート法で基板上に塗布した後,窒素雰囲気中で1時間加熱処理することで結晶化させた.300℃以下の低温プロセスで光学バンドギャップが5.3eVで,可視光領域の透過率が80%以上のCuAlO薄膜が形成できた.
表面科学講演大会講演要旨集
日本表面真空学会学術講演会要旨集
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