シード層の状態が水熱合成ZnOナノロッドの成長様式に及ぼす影響

抄録

ZnOナノロッドは基板上に形成されたZnOシード層上に水熱合成法で低温、配向成長することが知られている。そこで基板やシード層の表面形状が与えるナノロッドの成長様式への影響について調査した。まず、基板、膜厚を変更することで基板の結晶構造がナノロッドの配向性に大きく影響を与えることが観察できた。更に基板にC面サファイア単結晶を用いたシード層を熱処理することでナノロッドの密度が向上することが確認できた。