反応性スパッタリングを用いた酸化ジルコニウム薄膜の作製と評価

抄録

円筒型Zrターゲットを備えた反応容器に、放電ガスにアルゴンと反応性ガスの酸素を導入し、反応性マグネトロンスパッタリングを行い、Zr-O薄膜を作製した。作製した試料の吸収スペクトルから光学特性および膜厚を算出し、さらにXRDを用いて結晶相を決定した。そこから酸素ガスの流量と基板の温度の依存性について検討した。今後SEM観察とAlq3を蒸着した試料の発光スペクトルを測定し、作成した試料の表面の状態を評価する予定。