FeSi2薄膜を用いた太陽光吸収・赤外放射特性の制御

抄録

基板を加熱しながらスパッタリングにより成膜したFeSi₂薄膜はβ- FeSi₂を含むが、その消衰係数はバルクとは異なり、赤外域で透明ではないことを見出した。そして、高い波長選択性を示すFeSi₂/Wを用いて特定の波長域の赤外線を選択的に放射する膜と太陽光を選択的に吸収する膜を開発した。前者は排熱の利用や有機溶剤の乾燥、放熱への応用が期待される。後者は太陽熱発電への展開が期待できる。