主催: 公益社団法人日本表面科学会, 一般社団法人日本真空学会
学習院大学 物理学科
株式会社 アルバック
アルバック・クライオ株式会社
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極高真空領域での主要な残留気体である水素の排気特性を解明するためには吸着等温線を得る必要がある。広い温度範囲での吸着等温線測定のために、3.8Kまで温度を下げ持続させることができる冷凍機と、ヘリウム減圧機構を組み合わせた2.5Kクライオスタットを製作した。減圧機構により1.8K~3.8Kの範囲で、またHeポット内にあるヒーターを使用することにより3.8K~9.0Kの範囲で、温度制御が可能となった。
表面科学講演大会講演要旨集
日本表面真空学会学術講演会要旨集
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