真空ナノエレクトロニクスに期待する

抄録

過酷環境下で動作するデバイス、高出力の超高周波デバイスなど、真空デバイスの方が固体デバイスより有利な領域がある。真空ナノエレクトロニクスは半導体微細加工技術を用い、新規な真空デバイスを研究開発する学術領域で、固体デバイスでは実現が困難なデバイスの開発が行われている。本講演では、真空ナノエレクトロニクスの利点と現在開発が行われているデバイスを紹介し、真空ナノエレクトロニクスへの期待について述べる。