塗布熱分解法による超電導膜の合成

― 限流器等への研究展開 ―

抄録

酸化物超電導体を薄膜や長尺テープ状に加工できれば電力分野やマイクロ波デバイス等への応用が図れるが、これら超電導体は脆く難加工性であるため、まず超電導薄膜製造技術の確立が重要である。この論文では、事故電流抑制に有望な限流器応用を目的として、塗布熱分解法（MOD）により高品質な大面積超電導膜の合成技術を開発した際に、製品ニーズに対応する目標を達成するために採用したシナリオや要素技術等を紹介する。塗布熱分解法は、原料溶液を基板に塗って焼成するだけという低コストで簡便な金属酸化物の成膜技術である。