Synthesiology English edition
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研究論文
圧電体薄膜を用いた圧力センサーの開発
- 量産車用燃焼圧センサーへの応用 -
秋山 守人田原 竜夫岸 和司
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2012 年 5 巻 3 号 p. 171-180

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抄録
この論文では、著者らが世界で初めて窒化アルミニウム(AlN)系薄膜圧電体を用いて開発した、量産車用燃焼圧センサーの研究開発の経緯について述べる。この研究開発の構想当時(2003年以前)は、単結晶を用いたセンサーが一般的であり、薄膜圧電体を用いた燃焼圧センサーは未開拓領域であり、その有用性は認識されていなかった。しかし、この研究開始以降、国内外の自動車部品会社や大学などが興味を示し、実用化に向けた共同研究を実施した。その結果、冷却を必要とせず、小型で高感度の燃焼圧センサーの開発に成功した。現在、著者らはセンサーの実用化を目指し、センサー信号の安定化、センサー構造の簡素化などの課題を解決するために研究を行っている。
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© 2012 独立行政法人 産業技術総合研究所
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