DLC膜の製造技術の変遷と動向

トライボロジスト

Online ISSN : 2189-9967
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DLC膜の製造技術の変遷と動向

大原久典

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キーワード: history, coating, DLC, PVD, CVD

ジャーナル認証あり

2013 年 58 巻 8 号 p. 545-550

DOI https://doi.org/10.18914/tribologist.58.08_545

Correction : tribologist 58 9 pp.697-697

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© 2013 一般社団法人日本トライボロジー学会

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