ヘリコンスパッタ法を用いた方位選択エピタキシャル成長

電気関係学会東北支部連合大会講演論文集

電気関係学会東北支部連合大会講演論文集

セッションID: 2G7

DOI https://doi.org/10.11528/tsjc.2003.0.249.0

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主催: 電気関係学会東北支部

共催: 電子情報通信学会東北支部, 照明学会東北支部, 日本音響学会東北支部, 映像情報学会東北支部, 情報処理学会東北支部, 電気設備学会東北支部

座長：堀尾　和重（芝浦工業大学）

ヘリコンスパッタ法を用いた方位選択エピタキシャル成長

*大橋正幸, 坂本直道, 堀川暁洋, 井上知泰, 三瓶義之

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