電気関係学会東北支部連合大会講演論文集
平成23年度　電気関係学会東北支部連合大会　講演論文集
セッションID: 2F17
会議情報

主催: 電気学会東北支部, 電子情報通信学会東北支部, 照明学会東北支部, 日本音響学会東北支部, 映像情報メディア学会東北支部, 情報処理学会東北支部, 電気設備学会東北支部, IEEE SENDAI SECTION

座長：石田　広幸(東北文化学園大学)
ECR プラズマ法によるGe-MIS 構造中絶縁膜のDLTS とC-t 測定による評価
*佐藤 真哉, 岩崎 拓郎, 鈴木 聡一郎, 小野 俊郎, 福田 幸夫, 岡本 浩
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© 2011 電気関係学会東北支部連合大会実行委員会
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