Characteristics of RF plasma production in a FET based RF ion source

電気関係学会東北支部連合大会講演論文集

2012 TSJC

セッションID: 2A13

DOI https://doi.org/10.11528/tsjc.2012.0_20

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座長：加藤　顕俊(東北大学)

Characteristics of RF plasma production in a FET based RF ion source

*及川幸平, 斎藤雄太, 船生拓矢, 田中のぞみ, 安藤晃

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© 2012 Organizing Committee of Tohoku-Section Joint Convention of Institutes of Electrical and Information Engineers, Japan

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