電気関係学会東北支部連合大会講演論文集
2012 TSJC
セッションID: 2A13
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座長:加藤 顕俊(東北大学)
Characteristics of RF plasma production in a FET based RF ion source
*及川 幸平斎藤 雄太船生 拓矢田中 のぞみ安藤 晃
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© 2012 Organizing Committee of Tohoku-Section Joint Convention of Institutes of Electrical and Information Engineers, Japan
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