平成26年度 電気関係学会東北支部連合大会 講演論文集
セッションID: 1G05
会議情報
主催: 電気学会, 電子情報通信学会, 照明学会, 日本音響学会, 映像情報メディア学会, 情報処理学会, 電気設備学会（各東北支部）, IEEE Sendai Section
座長：原田 知親（山形大学）
サファイアおよび石英上ZrドープIn2O3薄膜のスパッタ成膜時の酸素分圧に対する諸特性の変化
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