Si表面における極薄酸化膜成長と酸化膜電荷の発生

平成26年度　電気関係学会東北支部連合大会　講演論文集

セッションID: 1G07

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主催: 電気学会, 電子情報通信学会, 照明学会, 日本音響学会, 映像情報メディア学会, 情報処理学会, 電気設備学会（各東北支部）, IEEE Sendai Section

座長：佐藤　祐一（秋田大学）

Si表面における極薄酸化膜成長と酸化膜電荷の発生

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