交流表面光電圧法を用いたSi極薄酸化膜中に生成する電荷量の評価

平成28年度　電気関係学会東北支部連合大会　講演論文集

セッションID: 2B15

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主催: 電気学会, 電子情報通信学会, 照明学会, 日本音響学会, 映像情報メディア学会, 情報処理学会, 電気設備学会, IEEE Sendai Section

信山　克義（八戸工業大学）

交流表面光電圧法を用いたSi極薄酸化膜中に生成する電荷量の評価

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