Enhanced plasma density downstream of an rf plasma source by enlarging an open source exit

電気関係学会東北支部連合大会講演論文集

2017 TSJC

セッションID: 1B03

DOI https://doi.org/10.11528/tsjc.2017.0_14

会議情報

会議名: 平成29年度　電気関係学会東北支部連合大会　講演論文集

開催日: 2017/08/24 - 2017/08/25

袁　巧微（仙台高等専門学校）

Enhanced plasma density downstream of an rf plasma source by enlarging an open source exit

*齋藤太地, 高橋和貴, 安藤晃

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© 2017 Organizing Committee of Tohoku-Section Joint Convention of Institutes of Electrical and Information Engineers, Japan

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