液体窒素シュラウドとアルミニウムキャンバを用いたスパッタ装置により成膜した二層膜記録媒体

抄録

垂直磁気記録用二層膜媒体作製用にアルミニウムチャンバを有するスパッタ装置を試作した。液体窒素シュラウドとの併用で水分の少ない雰囲気と高速排気特性が実現でき、成膜した二層膜媒体の裏打ち層は低保磁力で平滑な表面が得られた。主としてこの表面平滑性から優れた高密度特性が達成できた。