1Pa-28 シリコン微細流路カプセル型ベア水晶内蔵無電極高周波QCMチップの開発とその応用(ポスターセッション)

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集

Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236

1Pa-28 シリコン微細流路カプセル型ベア水晶内蔵無電極高周波QCMチップの開発とその応用(ポスターセッション)

加藤史仁, 西川慎太郎, 柳田泰次, 荻博次, 平尾雅彦, 小山光明, 渡辺重徳

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ジャーナルフリー

2010 年 31 巻 p. 71-72

DOI https://doi.org/10.24492/use.31.0_71

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© 2010 特定非営利活動法人超音波エレクトロニクス協会

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