超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236
1P1-6 2元スパッタリング法によるScAIN薄膜の形成
藤井 知隅坂 将大岡田 行彦蓮池 紀幸木曽田 賢治播磨 弘大森 達也橋下 研也
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2015 年 36 巻 p. _1P1-6-1_-_1P1-6-2_

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© 2015 特定非営利活動法人超音波エレクトロニクス協会
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