2P3-10 水晶振動子センサ集積化における磁気駆動型微小ポンプの基礎的研究

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集

Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236

2P3-10 水晶振動子センサ集積化における磁気駆動型微小ポンプの基礎的研究

押田直也, 増本憲泰, 加藤史仁, 張暁友, 荻博次

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2017 年 38 巻論文ID: 2P3-10

DOI https://doi.org/10.24492/use.38.0_2P3-10

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© 2017 特定非営利活動法人超音波エレクトロニクス協会

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