2P1-6 RFマグネトロンスパッタ法によるc軸配向CrAlN膜の形成と圧電特性評価

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集

Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236

2P1-6 RFマグネトロンスパッタ法によるc軸配向CrAlN膜の形成と圧電特性評価

髙野佑成, 早川竜盛, 鈴木雅視, 垣尾省司

著者情報

ジャーナルフリー

2019 年 40 巻論文ID: 2P1-6

DOI https://doi.org/10.24492/use.40.0_2P1-6

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2019 特定非営利活動法人超音波エレクトロニクス協会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

前身誌

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演予稿集

Top