超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236
3Pa2-4 多層構造をもつ半導体デバイスでの非破壊的な故障個所の絞込みにおける超音波加熱の周波数依存性
松井 拓人, 林 隼也, 川島 朋裕, 村上 義信, 穂積 直裕, 松本 徹
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2020 年 41 巻 論文ID: 3Pa2-4

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