3J3-2 三層構造のメタル MEMS カラムを用いた可搬型ボール SAW ガスクロマトグラフの開発

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集

Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236

3J3-2 三層構造のメタル MEMS カラムを用いた可搬型ボール SAW ガスクロマトグラフの開発

岩谷隆光, 赤尾慎吾, 山中一司, 岡野達広, 竹田宣生, 塚原祐輔, 大泉透, 福士秀幸, 菅原真希, 辻俊宏, 田中智樹, 武田昭信, 島明日香, 松本聡, 菅原春菜, 星野健, 坂下哲也

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2021 年 42 巻論文ID: 3J3-2

DOI https://doi.org/10.24492/use.42.0_3J3-2

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© 2021 特定非営利活動法人超音波エレクトロニクス協会

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