2Pb3-1 ScAlN on Diamondによる高K2SAWデバイス

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集

Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236

2Pb3-1 ScAlN on Diamondによる高K2SAWデバイス

畑下昂平, 土屋俊貴, 岡﨑雅哉, 中野真梨, Sri A. Anggraini, 平田研二, 大曲新矢, 上原雅人, 山田浩志, 秋山守人, 鹿田真一

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2022 年 43 巻 p. 269-

DOI https://doi.org/10.24492/use.43.0_2Pb3-1

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© © 2022 特定非営利活動法人超音波エレクトロニクス協会

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