超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236
3Pb3-2 PZTエピタキシャル薄膜の機械的Q値のZr濃度依存性
清水 祐樹, 柳谷 隆彦
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2022 年 43 巻 p. 437-

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