3P1-1 粒子照射を制限したc軸平行配向ZnO膜のスパッタ成膜とすべりモード共振子の共振特性

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集

Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236

3P1-1 粒子照射を制限したc軸平行配向ZnO膜のスパッタ成膜とすべりモード共振子の共振特性

冨山直樹, 高柳真司, 柳谷隆彦

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2023 年 44 巻 p. 175-

DOI https://doi.org/10.24492/use.44.0_3P1-1

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