超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236
1P3-8 分極反転ScAlN/SiAlN多層膜を用いた高次モードBAW共振子
福永 慶, 鈴木 雅視, 垣尾 省司
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2024 年 45 巻 p. 41-

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