2P2-10 GHz帯パルスエコー法による減衰定数推定を用いた薄膜の機械的Q<sub>m</sub>値評価手法

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集

Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236

2P2-10 GHz帯パルスエコー法による減衰定数推定を用いた薄膜の機械的Q_m値評価手法

島野耀康, 柳谷隆彦

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2024 年 45 巻 p. 108-

DOI https://doi.org/10.24492/use.45.0_2P2-10

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© © 2024 特定非営利活動法人超音波エレクトロニクス協会

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