3P1-6 Fabrication parameter effects on film quality in Pb(Zr,Ti)O3/Pb(Zr,Ti)O3

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集

Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236

3P1-6 Pb(Zr,Ti)O₃/Pb(Zr,Ti)O₃における作製パラメータが膜質に与える影響

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ジャーナルフリー

2024 年 45 巻 p. 170-

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