超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236
3P2-1 圧電体の共振を用いたシリコンの電気伝導性の評価
吉田 絢, 足立 寛太, 中村 暢伴
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2024 年 45 巻 p. 176-

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