超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236
2P3-10 MEMS技術を用いない低周波帯用のScAlN厚膜pMUTの作製と挿入損失測定
遠藤 樹, 柳谷 隆彦
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2025 年 46 巻 p. 115-

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