3P3-4 Ca<sub>3</sub>TaGa<sub>3</sub>Si<sub>2</sub>O<sub>14</sub>/高速基板接合構造における漏洩弾性表面波の解析

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集

Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236

3P3-4 Ca₃TaGa₃Si₂O₁₄/高速基板接合構造における漏洩弾性表面波の解析

小林祐哉, 鈴木雅視, 垣尾省司, 木村悟利

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ジャーナルフリー

2025 年 46 巻 p. 179-

DOI https://doi.org/10.24492/use.46.0_3P3-4

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© © 2025 特定非営利活動法人超音波エレクトロニクス協会

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