抄録
マイカを壁開することによって原子スケールで平坦な表面を形成し，その表面における曲率半径20nmの微細探針(Si3N4製）の摩耗特性を解析した。探針先端の摩耗によって生じるマイカ表面での接触面積変化に注目し，探針の吸着力変化として摩耗特性を解析した。マイカ表面での探針の摩耗は，探針に荷重0.5nNを掛けながら，走査速度が16.3μm/sで12.8mmの距離を滑らせることで行った。それにより，約0.3μmの深さの摩耗が生じた。マイカ表面での探針の吸着力は，滑り距離が長くなるにつれて増加することを見出した。よって，摩耗による探針先端の僅かな形状変化を吸着力変化として検出できることを示した。
