単電子トランジスタを用いた高位置分解能放射線イメージセンサー要素の開発

抄録

高位置分解能を持つ新しい放射線イメージセンサー開発のための新しい概念を提案する。今回はその要素部分の1つである、単電子トランジスタ（SET）デバイスの形状設計・試作を行った結果を中心に報告する。