共有結合性物質における表面ブリスタリングに伴う塑性変形のメカニズムの提案

抄録

シリコン、炭化珪素などの四面体配位共有結合性物質のガスイオン照射誘起表面ブリスター形成過程においては極めて大きな塑性変形を伴う。この変形メカニズムとして非晶質固体の等局所自由エネルギー変形なる概念を提案する。