イオン照射した酸化セリウムの表面形態変化

抄録

Xeイオン照射した酸化セリウムの表面形態の変化についてSEM、EDXにより観察、測定し、粒界近傍の優先スパッタリングと粒内割れ、Xeバブルの表面偏析等を観測した。