ナノラマン分光法によるジルカロイ酸化膜の特性評価

抄録

ナノラマンン分光法によるジルカロイ酸化膜内の結晶構造分布の定量化に成功した。酸化速度の遷移前および遷移後試料では金属/酸化膜界面から約0.7μｍまでの領域に正方晶ZrO2が存在し、それ以外の領域には単斜晶ZrO2が主に存在すること、完全遷移後試料では界面近傍でも単斜晶ZrO2のみで正方晶ZrO2は存在しないことが確認された。