RF水素プラズマによって形成されたタングステン堆積層における水素放出挙動

抄録

核融合炉第一壁における再堆積層形成とそれによる水素捕捉・放出は燃料トリチウムの取り扱いに少なからぬ影響を与えることが予想される。本研究ではRF水素プラズマによるスパッタ法を用いてタングステンの堆積層を作成し、昇温脱離により捕捉された水素の放出挙動を観測、モデル解析を行った。堆積層は主に酸化物（WO3）で形成されている部分とWのみの部分とに分け、それぞれについて解析を行った。