エネルギー回収リニアック(ERL)放射光源は、次世代X線光源や非破壊核種分析装置として注目を集めている。ERL放射光源の最重要課題の一つである、高輝度大電流電子銃の研究開発を我々は行っている。現段階で、500kV以上の高電圧を安定に印加する技術に目処をたてつつある。今後は、カソードとアノード電極、NEGポンプを導入した状態で高電圧テストを行い、光陰極準備容器を接続してビーム生成テストを目指す。このスケジュールを見据え、電子銃真空容器、カソード・アノード電極、NEGポンプ固定治具、光陰極準備真空容器の開発を進めている。これらの真空部品については、真空特製のよいチタン材を採用しているのが特徴的である。本発表においては、真空容器の開発現状、カソード・アノード電極の設計について報告を行う。