抄録
微細な加工及び分析技術の開発に利用されてきたMeV級イオンマイクロビームにおいて、装置の小型化とナノビーム化が切望されており、原子力機構では加速レンズによる小型ナノビーム装置の研究開発を行ってきた。これまでに46keVの水素分子イオンビームを160nmに集束することに成功している。本研究では、ビームエネルギー増加を目的として300kV加速管と加速レンズの一体型レンズ系（全長650mm）を開発した。イオン光学計算の結果、ビームエネルギー300kVにおいて130nmのビーム径に集束できる見通しが得られており、実際に300kVを印加するための加速管（電極間距離100mm）を開発し、ビーム形成実験を行うべくその小型装置の構築を行った。詳細は当日発表する。
