レジストモデル高分子のパルスラジオリシス

抄録

近年リソグラフィ用レジストの放射線化学反応の解明が、露光波長の短波長化に従い重要となっている。電子線や自由電子レーザーを用いたパルスラジオリシスによってそのイオン化反応機構について研究を行った。