抄録
プロトンリソグラフィ等による微細加工に利用されているMeV級イオンマイクロビームにおいて、装置の小型化とナノビーム化が切望されており、原子力機構では加速レンズによる小型ナノビーム装置の研究開発を行ってきた。これまでに46keVのプロトンビームを160nmに集束することに成功している。本研究では、ビームエネルギー増加を目的として300kV加速管と加速レンズの一体型レンズ系（全長650mm）を含む小型装置を構築し、プロトンビーム集束実験を行った。その結果、ビーム径20μm、ビーム電流10pAの形成に成功した。現在、さらなるビーム縮小化を行っているところである。詳細は当日発表する。
