薄膜内部診断のためのイオンビームグラフト重合法の性能評価

厚さ方向の空孔径とグラフト鎖領域の大きさの関係

抄録

イオンビームを対象物（薄膜物質）に照射し、通り抜けたビームによりポリエチレン中にラジカルを生成させグラフト重合させることで、対象物の内部診断の期待ができる。そのために、厚さ方向の空孔径に対するグラフト鎖領域の違いをミクロトームによりポリエチレンをスライスすることで観測した。