減圧酸素プラズマ処理装置の運用高度化への取組み

抄録

減圧酸素プラズマを利用したＬＰＯＰ（Ｌｏｗ Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｏｘｙｇｅｎ Ｐｌａｓｍａ）方式は、高い減容率で安定した処理が可能であることをこれまでに実証しており、さらなる高度化開発を進めている。今回、運用高度化に向けた調査試験を実施したので、その結果について述べる。